久久国产精品国产区二久久久,久久精品一区二区在线,欧美日韩久久久免费,一区二区三区久久精品

詳細(xì)摘要： 龍門式碳化硅基體超高精度氣浮直線平臺Planar HDX使用碳化硅陶瓷作為氣浮導(dǎo)軌基體材料，采用線性放大器和無鐵芯直線電機(jī)作為驅(qū)動，高精度光柵尺或激光干涉儀作為...

詳細(xì)摘要： 超精密氣浮轉(zhuǎn)臺氣浮轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)經(jīng)過特別優(yōu)化，具有大的空氣承載表面，提供*的剛度和負(fù)載能力，不僅具有極小的軸向和徑向運動誤差，還有小化的角擺誤差。